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ETEL Charon2 Z3TM QuiET 堆叠平台

ETEL Charon2 Z3TM QuiET 堆叠平台

  • 公司名称:约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司
  • 厂商性质:生产商
  • 电    话:010-80420000

  • 地    址:北京市 北京市 北京市顺义区天竺空港工业区A区天纬三街6号
  • 更新时间:2020-05-13

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产品介绍

Charon2 Z3TM QuiET 堆叠平台

是由CHARON2 XY系统和一个Z3TM组合模块以及一个垂直直线轴组成的高精度多轴系统,该平台也能集成了QuiET主动避震系统。

产品特点

总行程:达650 mm x 410 mm

9CHARON2标准产品 x 2种可选的电子系统=18种现成方案可供选择

兼容ISO 2 或者 ISO1级超净车间

使用Z3TM组合模块校正倾斜度

卡盘面带真空接口

运动和稳定时间短

有效负载和高达30千克

灵活的应用和使用用例

同级中更优的拥有成本

模块型、可扩展的性能和现场可升级

产品性能:

QQ截图20200513095129.png

CHARON2大.jpg

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