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ETEL  VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台

ETEL VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台

  • 公司名称:约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司
  • 厂商性质:生产商
  • 电    话:010-80420000

  • 地    址:北京市 北京市 北京市顺义区天竺空港工业区A区天纬三街6号
  • 更新时间:2020-05-13

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产品介绍

VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台

Vulcana XY系统和一个XYZ3T H多功能模块组成的高精度多轴系统该平台也集成了QuiET主动避震系统。

产品亮点:

模块化设计,结构紧凑

纳米级的位置稳定性

高动态性能:2.5 g1.5 m/s

运动和稳定时间短

兼容ISO 1级超净车间

±0.1°以上的摇摆和倾斜修正范围

带双Z轴,内置Z轴重力补偿

优异的Z轴直线度

更高Z轴重复精度和抖动性能

可修正工作台平面度

卡盘面带真空接口

产品性能:轴摇摆和倾斜粗大Z轴旋转轴

QQ截图20200513094440.png

VULCANO XYZ3TH大.jpg

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